中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293609337 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、サブミクロン半導体デバイス処理用に設計されたフォトレジストコーティング装置です。TEL Lithiusは、半導体ウェーハ上のサブミクロンスケール回路を複製、スライス、分離するための先進的なフォトレジストシステムです。このフォトレジストユニットは、半導体デバイス処理の最先端であり、複雑でミニチュアな回路を作成するための細心のプロセスを提供します。最初にフォトレジスト材料の薄い層で半導体ウェーハをコーティングすることで動作します。この材料は、紫外線にさらされる前に、フィルムを平準化するための簡単なスピンコーティング処理を受けます。紫外線に当たったフォトレジスト素材の部位は硬化しエッチングに耐性があります。その後、フォトレジストを洗浄して無害な材料を除去します。この洗浄プロセスは、レジストレイヤーに仕様を「修正」します。使用されるフォトレジストは、サブミクロン半導体デバイス処理に必要な厳格なパターン公差を遵守するために特別に配合されています。各フォトレジスト製剤の成分は、各基板のニーズに合わせて調整することができ、露光および加工段階の両方で可能な限り最高の分解能と品質を確保します。コーティングされたウェハが紫外線にさらされてから洗浄された後、フォトレジスト層は「開発」の準備ができています。このステップでは、レジストレイヤーを、保護されていない部分を除去する反応に服従させます。その結果「開発された」レジストレイヤーは、デバイスにエッチングする準備ができた、指定された回路の表現です。最後に、エッチング処理が完了し、デバイスの準備が整った後、フォトレジスト層は剥離されて取り除かれます。TOKYO ELECTRON Lithius toolは、フォトレジストが過度に剥離されないように特殊な技術を使用しています。要約すると、Lithiusフォトレジストアセットは、半導体ウェーハ上にサブミクロンスケール回路を作成するために使用される正確で複雑なプロセスを提供します。特殊なフォトレジストとスピンコーティング工程を利用して、半導体デバイスを紫外線にさらし、指定回路を複製するために「開発」することができます。サブミクロンスケール半導体デバイスの最高品質のミニチュア回路を保証する最先端モデルです。