中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595672 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、信頼性の高い電気特性を持つ半導体デバイスを製造するために設計されたフォトレジスト機器です。基板ホルダー、スキャナ、光源、制御ユニットの4つのモジュラーコンポーネントで構成されています。基板ホルダーは半導体ウェーハを内蔵しています。ウェーハの表面に光感受性フォトレジスト素材を均一にコーティングするために、制御された環境でウェーハを位置付け、回転させるように設計されています。スキャナーはフォトレジスト素材を公開する責任があります。x-yガントリーを備えた電動ステージで構成され、ウェーハを線形に動かし、照明ビームの線量、偏光、サイズ、形状を正確に制御します。光源は、照明ビームを生成し、その強度と形状を制御するために責任があります。一般的に使用される光源は、レーザー駆動の電子ビームです。コントロールユニットはユニットの心臓部です。フォトレジストプロセス全体を制御および管理する責任があります。他のコンポーネントに情報を提供し、全体のワークフローを指示し、フォトレジスト素材に関するデータを収集します。TEL Lithiusは、上記の機械部品を活用することで、高い均一性と信頼性を持つ半導体デバイスを製造することができます。このツールは、非常に複雑なパターン、密な構造、さらにはサブミクロン構造を生成することができます。さらに、プロセスは完全に自動化され、パターンの優れた再現性と均一性を提供します。TOKYO ELECTRON Lithiusは、電気特性に優れた半導体デバイスの製造に使用される信頼性の高い高効率フォトレジスト資産です。