中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595668 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、メーカーが無駄を最小限に抑え、コストを削減して表面にディテールをエッチングできるように設計された先進的なフォトレジストシステムです。紫外線（UV）と可視光（VIS）を利用して、GaAs、 SiO2、 SiNなど、さまざまな基板上の複雑なパターンを画像化します。システムは、光源、光学、ステアリングミラー、リソグラフィーユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。光源は高出力UV/Visible （U/V）レーザーで、優れた波長分解能を持ち、精度と忠実度を大幅に向上させ、光学系は均一な画像を投影するように設計されています。感度の高い自動装置であるステアリングミラーをレンズに接続し、基板に正確なパターン投影を実現します。光源と光学系が適切に構成されている場合、イメージングする基板にフォトレジストが適用されます。フォトレジストは、紫外線や可視光に敏感で、さらされると化学反応を起こす特殊なタイプの化学物質です。レーザーにレジストを露出した後、所望のパターンを開発することができ、レジストは所望のエッチパターンを残して、次にきれいになります。フォトリソグラフィにTEL Lithiusを使用することは、従来のフォトリソグラフィと比較して大きな利点を提供します。それはより速く、より正確で、従来のフォトリソグラフィよりもはるかに高い解像度のパターンを投影することができます。さらに、それはより安価であり、フォトレジストや他の消耗品のかなり低い量を使用し、フォトレジストは削り取られるのではなく蒸発するので、はるかにクリーンです。TOKYO ELECTRON Lithiusは、従来のフォトリソグラフィよりも複雑なパターンを基板上に正確かつ経済的にエッチングできる高性能フォトレジストシステムです。汎用性が高く信頼性が高く、フォトレジストやその他の消耗品の無駄を最小限に抑えた高解像度パターンを生成できます。そのため、様々な産業で使用される複雑なパターンを持つ基板の大量生産に最適です。