中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595663 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、各種基板上のフォトレジスト薄膜を正確にパターン化し、リソグラフィ、エッチング、ダイレクトライトアプリケーションを可能にするフォトレジスト機器です。投影・拡散露光源とスピンコートユニットと呼ばれる液体フィルム成形ユニットを使用し、フォトレジスト材料の溶解・沈着を制御します。この露光源は、必要な紫外（UV）スペクトルの焦点光ビームを作成します。このレンズを通過した後、フォトレジストフィルムの表面に到着する前に、2つのディフューザーでUV光をろ過します。フォトレジストマシンは、さまざまな基板上のフォトレジスト薄膜の正確なパターニングを可能にするように設計されています。これには、シリコン、ガラス、セラミック、プラスチック、銅、アルミニウムが含まれます。このツールには、DRAMやDRAMキャッシュメモリ、CMOSイメージセンサー、MEMSなど、多くの半導体デバイスを処理する機能もあります。アセットによって作成された投影および拡散露光は、1 μ m以上の解像度を持つことができます。この低分解能により、高精度の小型ナノパターンが可能になります。スピンコートユニットで完成。このユニットはフォトレジストフィルムの堆積と溶解を担当し、基板上の均一なフィルム蒸着を可能にします。スピンコートユニットは、空気または真空補助スピニング技術を介してフォトレジストを適用します。TEL Lithiusフォトレジスト装置は高度な技術により、さまざまな基板を効率的かつ正確に加工することができます。このシステムにより、デバイス製造企業は高解像度で効率を高める高品質のリソグラフィ、エッチング、ダイレクトライトデバイスを開発することができます。