中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589534 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、フォトリソグラフィに使用されるフォトレジスト機器で、電子業界で使用される集積回路やその他のシステムの製造に使用されるプロセスです。TEL Lithiusシステムは、レチクルを介して光を使用して、フォトレジスト層に回路パターンを投影します。フォトレジストは、電子回路を作成するために使用される光感受性材料です。光にさらされると化学的に変化する高分子材料で、投影パターンの形状をとることができます。プロセスは、回路が構築される表面上のポリマー層の堆積から始まります。フォトレジスト層は、基板に適用された感光膜で構成されています。フォトリソグラフィープロセスの次のステップは、作成する必要がある回路を含む基板上にマスク（レチクルと呼ばれる）を作成することです。マスクは、フォトリソグラフィーユニットが使用するデザインから作成されます。回路をフォトレジスト層に投影するために、マスクはフォトレジスト層と整列し、一連の光源がフォトレジスト材料を露出するために使用されます。東京エレクトロンリチウスマシンは、フォトレジストの照明に最適化された設計を採用しています。それは光が全体の表面積に効率的に伝達されることを保障し、フォトレジストへの均一な露出を提供します。このプロセスにより、フォトレジスト上のマスクパターンの正確なレプリカが得られます。露光プロセスが完了すると、フォトレジストが開発され、不透明な層が形成されます。このフォトレジストマスクはそのまま保管され、基板に回路をエッチングするために使用されます。回路パターンを完了するには、乾式または湿式エッチングを使用してパターンを基板にエッチングします。エッチング処理は、露出した部分を除去する化学溶液または材料を切断する治具やドリルなどの機械工具で行われます。エッチング後、フォトレジストマスクを取り外し、基板上の回路パターンを完成させます。Lithiusツールは、フォトレジストの均一な露出を保証し、正確で正確なパターンを作成できるため、信頼性が高く、正確で、再現性の高い結果を提供します。エレクトロニクス業界で電子システムの製造に使用されている高効率で自動化されたプロセスです。