中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589532 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、シリコンウェーハなどの基材上にナノスケール構造を構築するフォトレジスト機器です。フォトレジストは、特定の波長の光にさらされたときに変化するユニークな特性を持つ材料です。光の露出の波長と強度を制御することで、特徴を正確に定義することができます。TEL Lithiusは、接触、近接、非軸など、さまざまな露光技術が可能です。接触露出は基本的な形状または開口部に使用されますが、近接および非軸は複雑な形状のパターン作成に適しています。東京エレクトロンLithiusは、集光ビームを使用して、サブミクロン精度の高い高解像度パターニングを提供します。このシステムは、高出力光源を備えた高度な光学ユニットを使用しています。このマシンは、高度なレーザースキャナー、回転する多角形ミラー、および広いズーム範囲を内蔵しています。これにより、フォトレジストの正確な露出が保証され、高アスペクト比の構造を作成できます。Lithiusには、Off-Axis Shift Compensationなどの高度なプロセスコントロールも組み込まれており、露出パラメータを自動的に調整して、Off-Axis露出による一般的な解像度の問題を減らします。このツールを使用すると、パターンの自動アライメントと自動露出制御が可能になり、ウェーハ全体にパターンを正確かつ一貫したレプリケーションが可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、幅広いフォトレジストに対応しており、半導体、シリコン、MEMS、 NEMSデバイス、マイクロ流体系など様々な用途に使用できます。この資産は、コンパクトで柔軟性があり、ナノスケール構造の精密な処理を提供します。高度な光学モデル、高度なプロセスコントロール、さまざまなフォトレジストとの互換性を統合することで、TEL Lithiusはナノスケール構造を作成するための理想的なソリューションとなります。