中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293587437 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、ウェーハ加工用途向けのフォトレジスト機器です。それは低い欠陥および最低の環境の影響の高解像度のパターン化機能を提供するように設計されています。このシステムは、フォトレジストと呼ばれる感光性ケミカルコーティングをウェーハに適用することによって機能します。フォトレジストは、通常、ウェーハの特定の領域を照射するリソグラフィーチャンバー内にあるUV光源にさらされます。光にさらされた領域は、開発者のソリューションに不溶になりますが、光にさらされていない領域は溶けています。開発者ソリューションは、光にさらされたコーティングを選択的に除去し、ウェーハ上に細かいパターンを作成するために使用されます。TEL Lithiusユニットには、フォトレジストコーティング、露出、および開発者ソリューションアプリケーションがすべて正しい時間と設定で発生するようにするためのさまざまなプロセスモジュールが含まれています。また、光学補償CCDカメラ、偏光フィルタ、自動ゾーンマッピング、デジタル画像処理ソフトウェアなど、多くのイメージングコンポーネントも内蔵しています。これらのコンポーネントはすべて、フォトレジストアプリケーションと露出のプロセスパラメータが正確であることを保証するために協力します。TOKYO ELECTRON Lithiusフォトレジストツールは、高い信頼性と費用対効果を実現するよう設計されています。このアセットは、耐食性と耐衝撃性を備えたステンレス鋼部品と、リソグラフィーチャンバーに導入される可能性のある粒子の量を減らすための高度な乱流制御で構成されています。さらに、フォトレジストモデルは高度なオートメーション機能を備え、半導体プロセスシステムへの柔軟な統合を提供します。要するに、Lithiusフォトレジスト装置は、高解像度で再現可能なパターニング機能を提供し、欠陥が少なく、環境への影響が最小限に抑えられます。システムの信頼性の高い構造と高度なオートメーションにより、信頼性が高く費用対効果の高いウェーハ処理が可能です。