中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9283145 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは、半導体集積回路やマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される先進的なフォトレジスト機器です。半導体ウェーハの製造において重要なツールであり、薄い堆積物や様々な材料の密度を作成し、ウェーハからエッチングして取り外して集積回路を形成するために使用されます。このシステムは、高度なソルゲル技術により、ユーザーはより細かい機能を作成し、堆積とエッチングの精度と解像度を高めることができます。これにより、集積回路上のより小さく、より複雑な構造や設計を作成するのに理想的です。また、クローズドループレジストコントロールを備えており、露光時間や機械内の蒸気圧などのパラメータを正確に制御できます。TEL Lithius Proは、コーティング、パターニング、リソグラフィ、硬化などのさまざまなプロセスにも使用できます。コーティング機能には、スピンコーティング、空気圧スプレー、スロットダイなどがあります。このツールには、高度なOMERLOT （Output Mode Electric Resist Layer）プロセスも搭載されており、レジスト層の形成精度を高めています。コーティングやリソグラフィ機能に加え、基材の表面を操作できる機能も備えています。これには、酸化物除去、CMP （Chemically Mechanical Polishing）、およびエッチバックが含まれます。これらのプロセスはすべて、半導体ウェーハの表面形状を変更するために使用でき、より複雑な構造を形成することができます。最後に、高周波マイクロ波を利用した高度な硬化モデルを採用し、硬化時間を短縮し、製造工程に伴うコストを削減します。この硬化装置は、すべての層が適切に接着され、外観が均一であることを保証するのに役立つ急速な焼戻しサイクルも可能です。全体として、Lithius Proは、半導体製造において重要なツールとなるさまざまな機能を備えた強力なフォトレジストシステムです。高度なコーティングとリソグラフィ能力、表面地形制御、硬化、その他の機能を提供しており、ユーザーはますます複雑な設計や回路構造を作成することができます。