中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9263047 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは、半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）処理におけるフォトマスク構造パターニングに使用されるフォトレジスト機器です。このユニットは、光源、機械運動機、投影光学の3つのコンポーネントで構成されています。TEL Lithius Proは、高出力光源を使用して超短パルス光と広域可視光を生成することができ、ターゲットを絞ったオーバーレイや露出を可能にします。一貫した結果のためにライトに高い均等性および高輝度があります。また、光源は動的なパワーモジュレーションが可能で、露光量を非常に正確に制御することができます。最大0。3nmの位置決め精度を持つ機械式モーションツールは、高真空条件下での露出中にウェーハを正確に移動させることができます。特許取得済みのクリアエッジデザインは、マスクエッジの光の漏れを最小限に抑えるように設計されており、狭いピッチパターンでも品質の高い結果を得ることができます。最後に、制御の行き届いた光学照明を提供し、投影光学系はパターン倍率と被写界深度を正確に制御することができます。このアセットには、高度な光学補正アルゴリズムが組み込まれており、収差を排除し、最高の性能と信頼性を保証します。東京電機Lithius Proフォトレジストモデルは、単層レジストと多層レジストの両方に信頼性の高い高性能パターニングを提供します。高精度な位置決め精度とパワーモジュレーションにより、再現性と再現性に優れたパターンを実現します。さらに、クリアエッジ設計によりマスクエッジの光漏れを最小限に抑え、非常に高い精度と精度を必要とするアプリケーションに最適なツールです。