中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293827599 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは、半導体の微細加工プロセスで使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジスト（Photoresist）は、集積回路内のデバイスをパターン化するために使用されるコーティング材料です。シリコンウエハーやフラットパネルディスプレイなどの基板に適用可能な高分子フィルムで構成されています。光にさらされると、フォトレジストの領域が硬化し、化学エッチング剤によって露出していない領域が除去されることがあります。このプロセスは、トランジスタ、コンデンサなどの部品を最小限のサイズで正確に製造できるように基板をパターン化するために使用されます。TEL Lithius Proは、多種多様なフィルム、基板、フォトポリマー材料に最適化された高性能フォトレジストシステムです。これは、プロセスとマスキング機能を最大化するためのオプションの光学アタッチメントの広い範囲と高度な光学エンジンが含まれています。このユニットは、ソフトウェア制御のレーザー露出、または強力な代替としての従来のフィルム露出の選択肢を提供します。このマシンで使用されるレーザー光源は、サブミクロンのリソグラフィープロセスを含む幅広い用途で高解像度のマイクロエレクトロニクスイメージングを可能にします。TOKYO ELECTRON Lithius Proは、様々なフォトレジスト素材のプロセスニーズに対応した各種オプションコンポーネントを搭載しています。拡散チャンバー付き液体開発タンク、スプレー攪拌ツール、ポスト露出調整ユニット、ドライフィルムジャケットユニットなどがあります。このアセットは、高精度で再現性の高い結果を得るための再現性など、モデル機能の最新の進歩を提供します。Lithius Proは、安全なデータストレージとデジタル署名検証機能、およびさまざまなフォトレジストプロセス用のアプリケーション固有の機能セットも提供します。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは使いやすく高性能なフォトレジスト機器で、高効率で精密な微細加工を可能にするよう設計されています。基板をパターン化するための効果的なソリューションであり、機密データに対する堅牢なセキュリティも備えています。
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