中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293827336 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは、半導体デバイス用の精密リソグラフィーマスクを作成するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。TEL Lithius Proには独自の研究グレードの塩素化ポリビニルアルコール（PVA）フォトレジストが搭載されており、大学の研究に最適な高度な機能がいくつかあります。東京電機Lithius Proフォトレジストシステムは、PVAフォトレジストの液体を使用しているため、設計の柔軟性とフォトレジストマスクを特定のデザインに合わせることができます。このフォトレジストユニットは、あらゆる用途で一貫した信頼できる結果を提供することを約束します。フォトレジストは、プログラムされたウェーハステージでデバイスウェーハに適用され、研究者は露光時間と線量を正確に制御することができます。さらに、Lithius Proは、リソグラフィーマスクを迅速にスキャンしたり、特定のデザインを繰り返したりするために調整することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proのもう1つの特長は、パターン定義中高密度リソグラフィ用に設計されたベーク加工機（BPS）です。これにより、高解像度のパターンやフィルムを効率的に生成することができます。BPSも機能します。高周波制御を誇る融合のthermopile；自動時間および温度制御されたベーキング版；そしてソフトウェア制御の基質。これらの機能は、非常に迅速かつ効率的に細かい詳細なリソグラフィーマスクを作成するのに役立ちます。最後に、TEL Lithius Proフォトレジストツールは、完全に監視された動作環境を備えており、研究者が作業するための安全で信頼性の高い設定を提供します。すべてのフォトレジストシステムには、UVフィルタリングシールドとユーザー保護のための不活性窒素エキゾーストアセットが装備されています。このモデルには、流体レベルと温度を監視して一貫した動作を保証する環境センサーも含まれています。東京電機Lithius Proフォトレジスト機器は、大学でのリソグラフィ研究に最適な多くの機能を備えた先進的な研究グレードのフォトレジストシステムです。そのPVAのフォトレジストの液体はより大きい設計柔軟性を提供します；ベーク処理ユニットは、高解像度のパターンとフィルムを保証します。そして環境保護の特徴は安全で、信頼できる操作を保障します。
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