中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293821725 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは、超精密画像処理を必要とするプロセスエンジニアに、信頼性とコスト効率の高いソリューションを提供するフォトレジスト機器です。このシステムは、高感度な半導体アプリケーションで再現性のあるパフォーマンスを提供するために高度なオートメーションを組み込んでいます。TEL Lithius Proは、フィールド準拠のBruker FXF 280 Autoimageスキャナで構築され、高い画像解像度と感度を提供します。高度なオートメーション機能により、ユニットのウェーハ露出履歴の操作と追跡が容易になります。このマシンには、プロセスチャンバ間でマイクロウェーハを迅速に転送するための自動ウェーハハンドラと、正確なアライメントを確保するためのウェーハマッピングツールが装備されています。アセットに埋め込まれた強力なAIT （Atomic Level Image Trackers）ソフトウェアにより、エンジニアは各ランニングを正確に監視できます。この強力なツールは、即座にプロセス特性を追跡し、予期しないウェーハの露出を防ぐために使用できます。自動化されたデュアルフォーカス機構により、すべての基板で一貫した画質と再現性が保証されます。また、リアルタイムの温度モニターと制御により、温度クリティカルなプロセスを実現しています。統合された高度なビーム制御チューニング機能により、高いスループットを維持し、イメージング精度を確保できます。また、露出モードの自動プリセットライブラリにより、柔軟性が向上し、エンジニアがさまざまなフォトリソグラフィーアプリケーションを素早くセットアップできるようになります。このパワフルなモデルは、半導体やマイクロエレクトロニクスアプリケーションなど、さまざまな業界での使用に最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより使いやすく、高度な自動化により精度と再現性が保証されます。Lithius Proは、信頼性の高いフォトリソグラフィーソリューションを必要とするエンジニアに最適です。