中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293603809 を販売中

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ID: 293603809
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Coater / Developer system, 12" Process: ArF Dry Factory interface: (5) FOUPs CIM: ECS / GEMSECS / GEM Options: LynxOS / TEL Chiller T/H Controller Coater and developer cabinet Resist cabinet A/C Power box Handler: CRA IRAM (3) PRA 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは、高性能フォトレジスト装置です。高度なイメージング技術と高度な制御アルゴリズムを活用し、非常に精密なフォトレジストを生成することができます。最先端の光学系とプログレッシブオートメーションを使用して、このシステムは最先端のリソグラフィ結果を提供することができます。TEL Lithius Proの内蔵光学ユニットにより、幅広い解像度を正確に実現できます。その高度な画像処理アルゴリズム、光学機械、自動露出パラメータにより、非常に細かい機能と最小限の歪みを持つフォトレジストを生成できます。さらに、統合フィードバックツールは、リトグラファーが資産の安定性を監視および維持するのに役立ちます。このモデルはまた、非常に高速なコントローラを使用しており、高スループットと低レイテンシの両方を実現しています。東京電機Lithius Proは、露光時間、ピクセルサイズ、光密度などの露光パラメータを自動制御します。また、形状やエッジ定義など、フォトレジストを制御するためのさまざまなオプションも提供しています。この装置はピクセル単位でパラメータを制御するように構成することができ、非常に細かい制御を可能にします。Lithius Proは、メンテナンスと修理が簡単に行えるように設計されています。組み込み品質管理ユニットを含むシステムのパフォーマンスを時間をかけて監視するためのツールを提供しており、潜在的な問題を迅速に特定して解決するのに役立ちます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Proは高品質で高度なフォトレジストマシンです。高度な制御システムと強力なイメージング技術を組み合わせたこのツールは、フォトマスクを次世代の精度と解像度に押し出したいリトグラファーに最適です。
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