中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #9292955 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro Vは、マイクロエレクトロニクス、半導体、ウェハファブリケーションなど、幅広い用途に対応できるように設計されたフォトレジスト機器です。光源、レンズ、自動移動ステージを備えた高精度な光学ユニットを使用して、ボリュームのパターン化されたウェーハとナノ加工を最適化します。従来のステッピングスキャナーシステムとは異なり、TEL Lithius Pro Vはコンピューター制御のアルゴリズムを使用して、パターニング中のウェーハ、レンズ、光源の正確な位置を決定します。これにより、線の幅と高さが非常に正確になり、パターン化された角度や太い線の作成に非常に効果的です。TOKYO ELECTRON LITHIUS PROVマシンは、包括的なオーバーレイアライメントコンセプト、高度なリソグラフィーシミュレーションと制御、高性能な画像処理エンジンなど、幅広いソフトウェアとハードウェア機能を統合しています。このツールには、光源、真空チャンバー、ユーザーフレンドリーな操作コンソールなど、さまざまなコアアクセサリーも含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS PROVアセットの最適な性能を確保するために、露出エネルギー、オーバーレイアライメント精度、露光シーケンスなど、さまざまなパラメータを調整し、ユーザーフレンドリーなGUIの統合、自動パターニング、高度なリソグラフィーシミュレーションを含む高度なプロセスによって制御します。TEL LITHIUS PROVモデルを使用すると、リソグラフィ歩留まりの向上、サイクルタイムの短縮、製品品質の向上などのメリットが得られます。この装置は、自動アライメント補正、加速ベーキングおよび硬化、高性能ロジックやメモリデバイスなどの高精度デバイスの正確なパターニングも可能です。さらに、Lithius Pro Vシステムのお客様は、1つの露出が小さなサイト固有のレイヤーパターニングを提供するため、拡張された日光開発時間を利用することができます。精度の向上により、LITHIUS PROVユニットは高い設計柔軟性を提供します。顧客が最も複雑な設計のリソグラフィーの設計の範囲を作り出すことを可能にします。TOKYO ELECTRON Lithius Pro Vは、複雑で高品質な製品をわずかな時間とコストで作成するために、お客様が必要とする精度とエラーのないパターンを提供するために設計された先進的なフォトレジストマシンです。