中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #293823961 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro Vフォトレジスト機器は、さまざまな電子機器の製造に使用できるリソグラフィーのワークホースです。クロムと金の層でコーティングされた基板上の感光材料（フォトレジスト）の薄膜を正確に露出し、開発するように設計されています。電子ビームカラム、熱処理レジストユニット、アライナー、マスクアライナーで構成されています。TEL Lithius Pro Vの電子ビームカラムは、最大1,600電子ボルトのエネルギー範囲を提供します。最大3倍の解像度で、0。5 μ mという小型の機能を実現できます。コラムの高度な設計により、高いスループットを実現し、信頼性の高いリソグラフィ結果を保証します。熱処理としても知られている加熱レジストツールは、露出されたフォトレジストが最大解像度に適していることを保証します。レジストは、基板への接着性を高めるために、電子ビームにさらされる前に200°Cまで加熱されます。露出後、レジストはさらに加熱され、基板全体にわたって均一な発展を保証します。アライナーは、複雑な顕微鏡タスクの露出と解決において優れた精度を保証します。オープンフィールドトランスミッションアライナーは、最大1 μ mの機能を解決できます。これにより、トンネリングトランジスタなどの用途に最適です。マスクアライナーは、マイクロディスクまたは複雑な薄膜相互接続を再現するために使用されます。TOKYO ELECTRON LITHIUS PROVは完全に自動化されており、さまざまなセキュアな産業用コントローラやオペレーティングシステムと互換性があります。さらに、この資産には広範なユーザーフレンドリーなインターフェイスとキーパッドアクセスがあります。高品質、高精度、一貫性、信頼性を備えたLITHIUS PROVは、世界中のフォトレジストシステムで好まれる選択肢の1つです。
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