中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #293603567 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-iは、最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、半導体業界にとって非常に重要であり、さまざまな材料への機能のエッチングを可能にします。TEL Lithius Pro V-iはプロジェクト露出を使用して、寄付されたマスクからパターンを作成します。これは、革新的な格子状ライトバルブ（GLV）技術を使用したパターンジェネレータを使用して行われ、最大8。5ナノメートルの分解能を、これらの40 nmラインの露光線量12。0 mJ/cm2で生成します。さらに、Pro V-iは、部分コヒーレンス照明システムの可変数値開口（VNA）制御とコヒーレンス制御を利用して、最適なオーバーレイ精度を実現します。Pro V-iは、最大1nmのフォーカスモニタリングと± 1の±線量測定により、露出精度mJ/cm2向上します。さらに、Pro V-iは、レジスト材料のアッシング、クリーニング、ベーキングなどの多くのプロセスをサポートしています。このユニットはまた、スキャン機、露出工具、マニピュレーターからの完全な電力過負荷保護を提供し、機器がサージによって損傷しないようにします。Pro V-iは、カスタマイズ可能なアラーム、セキュリティパラメータ、データアーカイブなどの機能を提供する高度な制御エレクトロニクスや、資産自動化を強化するための豊富なインターフェースなど、さまざまな機能を備えています。最後に、Pro V-iには、フォーカス精度を向上させるオートメーションフォーカスコントロールインターフェイスと、露出間のマスクをクリーンに除去するためのリムーバブルマスクテーブルツールが含まれています。TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO VIは、最先端のフォトレジストモデルです。その豊富な機能とユーザーフレンドリーな設計により、多目的で信頼性の高いツールとなり、現代の半導体業界にとって理想的な選択肢となります。