中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #9296908 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-Iは、幅広い基板のリソグラフィーイメージング、フィルム開発、表面洗浄を行うフォトレジスト機器です。集積回路、MEMS、データストレージ、およびその他の精密マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。Pro-Iは、メインシステム、ガスボックス、表面洗浄ユニットの3つの主要なシステムで構成されています。本機は、紫外線（UV）光源、イメージング用ステッパー/スキャナ、基板処理用の真空ステージを内蔵しています。また、露出パルス、フォーカス同期、フィルター選択も提供します。ガスボックスには、フォトレジストベーキング、前冷却、エッチング、および後冷却に必要なガスが用意されています。表面洗浄ツールは、ブラシレス、プラズマベースの洗浄プロセスを提供します。Pro-Iは25mmまでのイメージングが可能です。その焦点を合わせる資産は<± 1。0 μ mの分解能および16MHzのスループットを維持するように設計されています。厚さ0。5mまでの基板加工が可能です。Pro-IのUV光源を使用して、最大厚さ1。5 μ mまでの0。5 μ mまでの特徴をパターン化することができます。Pro-Iは、オートマチックトランスミッション制御（ATC）、波形発生器、誘電体サセプター加熱、さまざまなUV波長で使用する露出ヘッドなどのオプション機能も提供します。有害物質の使用量を減らし、再利用のための化学物質をリサイクルするケミカルハンドリングモデルを搭載しています。また、さまざまなタイプのバンプをサポートする高度なウエハバンピングオプションも提供しています。Pro-Iは、リトグラフィックイメージングとクリーニングの最高水準を満たすように設計された、完全に構成可能で堅牢で信頼性の高い機器です。使いやすく、優れた歩留まり、再現性、高度な自動化を提供します。これは、さまざまな基板上のさまざまなマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための信頼性と費用対効果の高いツールです。