中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293815848 を販売中
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ID: 293815848
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Coater / Developer system, 12"
(5) Front Opening Unified Pods (FOUP)
(7) PRA / CRA / IRAI / PRAI
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-Iは、高度なリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。50nm以下の高精度なフォトレジストプロファイリングを可能にします。このシステムは、4x8インチスタンダード、超高解像度の高いスループットを備えており、幅広い高度な光学フォトレジストをサポートし、さまざまな光特性を持つ基板をサポートする複数の波長イメージングオプションを備えています。Pro-Iユニットは、一流のファウンドリの要求を満たすために、さまざまなプロセス能力と高度なイメージング技術を提供します。それは超高い直線性、動的動きおよび整列の訂正、優秀な非均一性、動的焦点の調節および事前の口径測定のない精密なオーバーレイを特色にします。また、フレキシブルトラックによる自動基板処理にも対応し、フォトレジストなど複数層の材料の加工が可能です。高度な干渉測定機能により、最高レベルの精度を維持しながら、マスクを基板に正確に合わせることができます。さらに、内蔵の収差補正により、個別に調整された補償器のコレクションでプロファイル精度と高解像度のイメージングが保証されます。Pro-Iには、さまざまなソフトウェアとハードウェアオプションもあります。自動化機能、ソフトウェアモデル、およびユーザーインターフェイスにより、ユーザーはニーズに合わせてツールをカスタマイズできます。また、0。3ミクロンのサイズ制限を超えた機能印刷を可能にする高用量OADや、詳細な微細加工のための電子ビームリソグラフィなどの高度な技術もサポートしています。さらに、Pro-Iはアライナーシリーズなどの他のTELプロセスと統合し、シームレスなセットアップと簡単な機械操作を実現します。統合された画像分析および自動露出によって、それは正確に処理の前後のフォトマスクを識別し、移すことができます。また、強力なPython実行環境と自動ワークフロー用の後処理ソフトウェアも備えています。TEL Lithius Pro-Iは、高度な要件を備えた半導体メーカーに最適なソリューションです。複雑なフォトレジストプロセスを高精度に実現し、カスタマイズ可能なオートメーションとソフトウェアツールを幅広く提供します。
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