中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293759416 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-Iは、4チャンバープラットフォーム、独自のHEPTACHEM™ウェットデベロッパーケミストリー、高解像度マスクアライナーを搭載した先進的なフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、半導体ウェーハを最大限の精度で処理し、必要なクリーンアップを最小限に抑えることができます。TEL Lithius Pro-Iは、4チャンバープラットフォームを備えた完全自動化ユニットで、複数のウェーハを同時に処理し、大量のウェーハ生産に最適なスループットを実現します。オンボードASML EBR制御機、温度チャンバーを備えており、均一性と再現性の高い処理操作を保証します。フォトレジストツールで使用されるHEPTACHEMウェット開発者化学は、フォトレジストの均一で再現性のあるコーティングプロセスと正確で一貫したコーティングを保証します。それはまた適用前に化学薬品のフォトレジストを分解する必要性を除去します。独自のHEPTACHEM化学は、ウェハ表面の品質と膜厚に関係なく、一貫した結果を提供します。東京電子LITHIUS PRO Iアセットに内蔵された高解像度マスクアライナーは、ウェーハ表面へのフォトマスクの高精度なアライメントを提供します。マスクされたウェーハは、製品の品質をさらに確保するために、正確かつ一貫して正確に予防することができます。4チャンバープラットフォーム、HEPTACHEM™ウェット開発者化学、統合された高解像度マスクアライナーの組み合わせにより、ウェフォートメーカーは最小限の無駄と高速で高品質の製品を製造するための高度なフォトレジストモデルを利用することができます。この装置は、正確なプロセス制御と再現可能な結果を必要とする半導体研究および製造アプリケーションに最適です。