中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9407206 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、先端半導体デバイスのリソグラフィ処理に使用される次世代フォトレジスト機器です。これは、高度なイメージング性能だけでなく、高い生産性と歩留まり率を向上させることができます。TEL Lithius i+は、フロントエンドとバックエンドの両方のプロセスに高度なイメージングシステムを提供し、最小線幅0。3umのウェーハの高解像度パターニングを可能にします。これは、迅速かつ正確に動作する完全に自動化されたアライメントユニットが付属しており、同時に最大4つのウェーハを処理することができます。また、高度な動作および温度制御システムを備えており、リソグラフィープロセス中に滑らかで連続的な流れを可能にします。東京電子Lithius i+で使用されているフォトレジストは、リソグラフィ中のパフォーマンスを向上させ、より小さな機能の作成を可能にするように設計されています。このツールは、リソグラフィープロセス中に潜在的なエラーを検出して修正することもでき、収率の向上と生産率の向上につながります。このアセットには高度な熱制御が装備されており、ウェーハのサイズや複雑さに関係なく安定した処理が可能です。その高度な光学モデルは、分子レベルで正確な解像度とコントラスト操作を可能にします。装置の高度なオートメーションレベルは、アライメントから露出まで、迅速かつ正確な操作を保証します。このシステムには、光学ツールとレーザーアライメントツールの両方が含まれており、最大解像度の正確なウェーハ位置を確保します。内部モニタリングシステムは、不純物による収差を検出することができ、結果の精度に高い信頼性を提供します。ユニットによって生成されたデータは、自動化されたプロセス制御レポートの生成にも使用でき、リソグラフィープロセスの精度と歩留まりを向上させるための貴重なデータを提供します。最後に、マシンは他のさまざまなシステムと互換性があり、シームレスな統合を提供し、使いやすいです。