中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9391713 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、フォトリソグラフィに使用されるフォトレジスト機器で、半導体、マイクロプロセッサ、デジタルディスプレイの製造において重要な技術です。デザインの高精度な2次元マスクを製造し、シリコンなどの材料ウェーハに転写することで機能します。TEL Lithius i+は、先進的なフォトマスクの作成、精密なアライメント、高精度な端子プロセスを組み合わせた独自のトリプル露光技術を使用して、優れたエッジアキュリティと優れたライン幅とプロファイルを備えた優れた構造を製造しています。このシステムは、フィルムやプレートにフォトレジスト材料を適用して、部品の印刷や製造を行います。同時に、紫外線や電子の流れなどの放射線源への曝露、目的のパターンでの標的物質の除去および/または形成を提供します。TOKYO ELECTRON Lithius i+の独自の3露光技術により、ウエハーや基板全体において、歪みを最小限に抑えた複雑な構造を柔軟に作成できます。また、ミスアライメントが非常に小さいため、丸めがほとんどなく正確な線幅が得られます。Lithius i+は、低電圧露光による高度なターゲティングおよび微細測定技術も備えており、1つのプロセスから次のプロセスまでの結果の一貫性を向上させるのに役立ちます。さらに、1ショットあたりのサイクルコストが比較的低いため、小規模および大規模プロセスの両方で経済的で使いやすいです。さらに、独自のソフトウェアアルゴリズムを使用して、露光プロセス中の高精度な投影アライメントを可能にします。これにより、目的の基板にパターンを高精度に転送することができます。ユーザーフレンドリーな制御環境は、リアルタイムのパフォーマンスのフィードバックと結果を提供し、アプリケーションプロセスの進捗状況と品質を監視します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、高解像度とパターン製作精度を必要とするプロセスに信頼性の高いプラットフォームを提供する高度なフォトレジストマシンです。高解像度の蒸着技術、最先端のアライメントシステム、高度なソフトウェアを組み合わせることで、高精度と低コストの製造標準コンプライアンスが不可欠なアプリケーションに最適です。