中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9384058 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、フォトリソグラフィ分野での応用を目的とした先進的なフォトレジスト機器です。さまざまな微細加工プロセスにおいて、高精度のウェーハパターニング処理に最適な性能を提供します。このシステムは、自動基板管理、精密抵抗コーティングおよび露出、高速開発、および清浄度制御を提供します。TEL Lithius i+は極めて精度の高いマイクロパターニング処理を提供します。トップレベルの精度と再現性を備えた高精度レーザーヘッド、自動基板配置用の高度なダイシングユニット、幅広いレジストに対応できるレジストコーティング機を備えています。さらに、露出パターンと露出後ベーク（PEB）を高精度に検証するためのサンプラーを内蔵しています。東京エレクトロンLithius i+は、フォトレジストを高精度かつ高速に開発し、残留粒子が基板に付着しないように特殊な基板洗浄ユニットを備えています。さらに、この資産は、レジスト濃度を正確に測定および制御し、化学レジストを分配することができます。Lithius i+には、過電流センサー、放射モニター、ソフトウェア制御インターロックなど、さまざまな高度な安全機能があります。また、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとカスタム機能を備えており、操作を簡単に監視、管理、調整できます。また、リアルタイムのデータ収集・解析装置を搭載し、生産プロセスへの迅速かつ容易なフィードバックを可能にします。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、高精度のウェーハパターニング処理に最適な性能を提供する高度なフォトレジストシステムです。これは、高度な基板管理、高速処理、およびレジスト濃度と分配の精密制御を備えています。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェース、組み込みの安全機能、カスタム機能を備えており、幅広い分野のさまざまな生産プロセスに最適です。