中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9361961 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius iは、フォトレジスト材料の成膜に使用される高精度で高度なフォトレジスト装置です。このシステムは、ウェーハの基板にフォトレジスト材料を適用する半導体製造プロセスで使用されます。このユニットは、フォトレジストの正確なパターニングを可能にするために、リソグラフィを含む最先端の精密技術を統合しています。TEL Lithius iは、精密なアライメントと正確なスキャン動作と正確な線量制御を採用しています。これにより、次世代半導体デバイスに適した高分解能パターンを製造することができます。このツールはまた、高い画像ウォン精度と優れた性能のための信頼性の高いファインパターン制御を提供します。TOKYO ELECTRON Lithius iには、ハイスループットと設計能力の向上を実現する最新のアプリケーション制御ソフトウェアが搭載されています。これにより、得られた結果が最高品質であることが保証されます。さらに、Lithius iはユーザーフレンドリーな操作を提供し、生産性の向上とコストの削減につながります。このアセットは、フォトレジストアプリケーションモデルの精度と信頼性を確保するのに役立つ多種多様なコンポーネントを提供しています。これらのコンポーネントには、精密制御機構、露光線量モニター、モーションコントロールモジュールが含まれます。機器によって提供されるその他の機能には、フルカメラモジュール、自動露出モード、光学位置決め、およびデュアルビームアライメントシステムがあります。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius iは、フォトレジストが正確かつ正確に適用されるように、複数のアライメントおよび登録補正機能も備えています。これにより、ウェーハ上にICを構築する際の精度が向上します。また、高度なデータロギング機能を備えており、各操作で使用されるフォトレジストパラメータを正確に記録できます。結論として、TEL Lithius iは、集積回路（IC）ウェーハ基板上のフォトレジスト材料の堆積に効果的で信頼性の高いソリューションをユーザーに提供する先進的なフォトレジストマシンです。このツールは、リソグラフィ、正確な追跡とアライメント制御、画像獲得精度、フルカメラモジュールのための高度な精密技術を備えています。その結果、ユーザーはフォトレジストのアプリケーションプロセスに自信を持つことができます。