中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9283134 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius iは、フォトリソグラフィープロセスの代替に使用されるフォトレジスト機器です。1：1以下の高アスペクト比の構造を作成するために使用できます。システムは、露出ヘッド、石英プレート、フォトレジストプロセッサで構成されています。露光ヘッドは、フォトリソグラフィ処理を行うためにUV可視光を使用しています。このユニットは、優れた精度、高コントラスト比、およびそれが提供する高い反射率のために好まれています。IC/COS用のフォトリソグラフィやウェハレベルのパッケージングなどのアプリケーションでは、露出ヘッドをフォトレジストプロセッサの上に配置し、オートメーションを介してクォーツプレートにリンクします。その後、フォトレジストプロセッサは必要な材料を石英プレートに供給し、必要なパターンに従ってそれを公開します。露光ヘッドはまた、最適な結果を得るための均一な強度分布を提供するのに役立ちます高度な光学フォーカシングマシンを使用しています。望ましいパターンがフォトレジスト材料に露出したら、基板に転送されます。この材料が石英板に付着しないように、ヘッドはソフトタッチ接触技術を使用しています。これにより、フォトレジスト材料へのストレスを軽減し、転送中に形成された望ましくないピークや影を防ぎます。TEL Lithius iはまた、いくつかの他の利点を提供しています。クリーニングツールを内蔵しており、クロス汚染を最小限に抑え、優れた印刷結果を提供します。さらに、フォトレジストの消費量が少なく、露光結果を低コストで最大限に引き出すことができます。従来のフォトリソグラフィと比較して、スピードとオートメーション技術の向上を実現しています。独自の機能により、歩留まり、精度、再現性、耐久性を向上させた構造を実現します。このすべての運用効率により、このフォトレジストモデルは今日利用可能な最も汎用性が高く費用対効果の高いプロセスの1つになります。