中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9283131 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius iは、高度な精密構造と部品の製造を可能にする最先端のフォトレジスト機器です。液体フォトレジストを基板上に塗布し、紫外線にさらすことでレジスト素材にパターンを作成します。露出した領域は、所望のパターンを残して、開発し、エッチングすることができます。このデバイスには、高信頼性の性能と効率を確保するための一連の高度な機能が装備されています。まず、基板上にフォトレジストの均一な層を提供する自動レジストコーティングモジュールを内蔵しています。様々なマスクを正確に配置できる精密マスクアライナーを搭載し、さまざまな強度の露出に使用できます。さらに、カメラを使用してフォトレジストパターンを検証する統合検査モジュールと、残りのレジストをすばやく洗浄して除去するために使用できる統合開発者ポートを備えています。TEL Lithius iのもう一つの特徴は、先進的な紫外線(UV)光源です。この高性能ソースは、フォトレジストパターンがプロセス全体で一貫して開発されていることを保証します。このデバイスには、基板の温度制御を可能にする熱制御モジュールも装備されています。高品質な性能により、高度な精密構造や部品の製造を希望される方々にとって、東京エレクトロンリチウスiはゴールドスタンダードとなりました。また、他のフォトレジストシステムに比べて生産コストが比較的低く、予算意識の高い業界にとって魅力的なソリューションとなっています。これらの機能はすべて、Lithius iをさまざまなアプリケーションに最適な選択肢にします。
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