中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9235810 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、フォトリソグラフィの過程で使用されるフォトレジスト機器です。実装された回路パターンを半導体ウェーハに正確かつ効率的に転送することができます。このシステムは、光学ステッパーとプロジェクター、システムの開発、および露出後のベーキングオーブンをサポートしています。エッジ露出機能、デュアル波長露出、自動基板冷却、高度なフィルムフロー技術を備えています。TEL Lithius i+ユニットは、精密なレーザー光源、高精度の光学ポジショナーアセンブリ、パルスフォトマスク計測など、高度なオプトエレクトロニクスを採用しています。光源を使用して、半導体ウェーハに複雑で正確なパターンを投影し、さまざまな露光時間に正確にさらされます。露出後のベーキングオーブンは、露出パターンが確実に転送されることを保証し、自動基板冷却により、露出プロセス中の温度変化が防止されます。東京電機Lithius i+フォトレジストマシンには、高度なフィルムフロー技術も搭載しています。この技術は正確に制御されたパラメータとレシピを提供し、パターン機能は調整可能です。このツールはまた、アセットに統合されるか、別のオフラインプロセスとして、プロセスの最適化を提供します。さらに、Lithius i+フォトレジストモデルのエッジ露出機能により、パターンの露出が最適な方向に形成され、維持され、正確なオーバーレイ性能が保証されます。さらに、この装置は、さまざまな波長の異なるフォトマスクをサポートすることを可能にするデュアル波長露出を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+フォトレジストシステムは、写真リソグラフィのプロセスにおいて非常に貴重なツールであり、回路パターンを正確かつ効率的に実装します。費用対効果が高く、堅牢なリソグラフィーソリューションで、正確で高性能な結果を提供し、維持と使用が容易です。