中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9218119 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、フォトリソグラフィープロセスの精度と信頼性を向上させる最先端のフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィーは半導体デバイスの製造において重要な要素であり、それを制御できる精度は現代の半導体デバイス製造にとって不可欠です。TEL Lithius i+システムは、革新的な回転レチクル変換ステージを利用して、パターン化されたレチクルを露出ウェーハと正確に整合させます。レチクルの独自の回転は、比類のないレベルのアライメント精度を可能にし、ウェーハに転送するときに洗練された画像になります。解像度の向上に加えて、TOKYO ELECTRON Lithius i+ユニットは、傷の軽減と汚染レベルの低減で高品質な画像を生成することができます。これは、微細なレベルで精密なイメージングを可能にする深紫外線光源と、強力な水素フッ素レーザースキャナーが採用されているためです。これら2つのコンポーネントを組み合わせることで、素晴らしい画質を保証し、画像の欠陥によるウェーハの数を大幅に削減することが証明されています。Lithius i+マシンも驚くほどユーザーフレンドリーで、オペレーターや技術者を支援する明るいデスクトップディスプレイを備えています。このディスプレイは、フォトレジストツールの動作条件、または生成される画像の品質に関する瞬時の情報を提供し、効率的かつ効果的な機械制御を可能にします。ユーザーはディスプレイのインターフェイスからアセットを構成することもでき、モデルのセットアップと試運転を大幅に簡素化します。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+装置は、優れたアライメント精度で高品質なイメージングを実現できる印象的なフォトレジストシステムです。最新の半導体デバイス製造に最適で、優れた特性を持つ信頼性の高いデバイスの製造を可能にします。その高度なデザインとシンプルなユーザーフレンドリーなインターフェースにより、TEL Lithius i+ユニットはデバイス製造に非常に貴重なツールとなります。