中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9215227 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius iは、フォトリソグラフィの用途に合わせて設計されたフォトレジスト機器です。シリコンウェーハに液体フォトレジストの均一で薄い層を適用するために、高度なスピンコーティングシステムを使用しています。フォトレジストは紫外線にさらされ、ウェーハ表面の敏感な分子が活性化され、反応して画像が形成されます。露出後、フォトレジストは、フォトレジスト層の露出部分を選択的に除去し、残りの露出していない部分を残すのに役立つ「、開発者」と呼ばれることもある溶媒にさらされます。TEL Lithius iフォトレジストユニットは、フォトリソグラフィープロセスを効率的かつ費用対効果の高いものにするために設計された幅広い機能を提供します。高解像度のサーマルイメージングマシンを搭載し、精密な画像開発を実現しています。さらに、ウエハハンドリングツールを備えており、ウェハサーフェスを最大限に活用しながら、欠陥率を低く抑えることができます。安全性に関しては、有害な化学物質への暴露からオペレータを保護するように設計されています。東京エレクトロンLithius iは、マイクロエレクトロニクス、バイオテクノロジー、光学システムなど、様々なフォトリソグラフィ用途に適しています。スピンコーティングモデルは、高い精度と均一性を提供し、高い歩留まりと高品質の試験結果をもたらします。また、高度なウェハハンドリングとサーマルイメージングシステムにより、装置は非常に正確で正確なプロセスを実行できます。さらに、システムは使いやすく、維持するように設計されています。結論として、Lithius iは、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに適した信頼性の高い高度なフォトレジストユニットです。スピンコーティング機はフォトレジストフィルムの均一なコーティングを保証し、サーマルイメージングとウェハハンドリングシステムは精度と精度を提供します。また、このツールは安全性と効率を最大限に高めるように設計されており、高い歩留まりと優れた試験結果をもたらします。
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