中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9198142 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+Photoresist Equipmentは、半導体デバイスの製造に使用されるフル機能システムです。高品質のウェーハやダイにつながる厚さマイクロメートル層のフォトレジストフィルムを正確かつ再現性のある成膜を提供するように設計されています。フォトレジストユニットは、蒸着室、ウェットベンチ、光学ビューア、5つの電源、およびコンピュータ制御モジュールで構成されています。成膜チャンバーは機械の主要部分です。これは、均一なフォトレジストフィルムを正確に堆積するために「ディップコーティング」技術を使用しています。また、コーティング工程を監視するための真空を内蔵した表示ウィンドウも備えています。ウェットベンチには、蒸着プロセス用の溶液とすすぎタンクが含まれています。また、蒸着工程中にフォトレジストフィルムを洗浄するためのポンプも備えています。このツールには、蒸着プロセスに必要な電力を供給するために5つの電源が装備されています。抵抗コーティング用高周波発電機2基、抵抗膜を平準化する低周波発電機3基を搭載しています。また、この電源はアナログからデジタルコンバータを備えており、電界からの干渉を低減します。最後に、TEL Lithius i+Photoresist Assetは、コンピュータ制御モジュールによってサポートされています。このモジュールは、成膜プロセス中の誤差の容易な校正と防止を可能にします。また、リアルタイムデータとフィードバックを使用してプロセス全体を監視し、堆積プロセスをより良く制御することもできます。結論として、東京エレクトロンリチウスi+フォトレジストモデルは、高品質の半導体デバイスの効率的な生産を可能にする信頼性の高い正確な機器です。ディップコーティング技術を使用した効率的な蒸着プロセス、5つの電源、および簡単な校正とプロセス監視のためのコンピューター制御モジュールを備えています。