中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9032258 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、半導体リソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器です。精度の高い光学イメージング部品を提供し、プロフェッショナルなウェハコーティングプロセスを可能にし、半導体回路の一貫した微細加工を実現します。このユニットは、微細加工の重要なステップでより一貫したパフォーマンスを提供するように設計されています。このマシンには、メインコンポーネントとオプティカルイメージングツールという2つの主要コンポーネントがあります。メインコンポーネントは高速で正確なウェハコーティングを可能にし、光学イメージングアセットは光学特性を制御して一貫したフィルムカバレッジを確保します。光学イメージングモデルには、3つの異なるモジュールが含まれています。光源モジュール、Length Writingモジュール、およびビーム制御モジュール。光源モジュールは、リソグラフィープロセスで使用される光を生成するために責任があり、静光源とパターンエンジニアリング技術に適合するように光のサイズ領域を拡大または縮小するための電動開口制御を提供します。Length Writing Moduleは、露出パターンの正確な説明を提供する責任があります。これは、露出過多のウェーハを避けるために使用され、微調整や補正の必要性を減らすことができます。ビーム制御モジュールはパターンの深さに一致させるか、または最高の正確さのライトの焦点を拡張するためにスリット幅およびビーム強度を制御するために責任があります。さらに、装置には、プロセスの精度に不可欠なノードコンポーネントがあります。このコンポーネントにより、オペレータはシステムの電力を制御し、ユニットの状態を監視して品質の高いウェーハを製造することができます。最後に、Pattern Transfer Unitはソースからパターンをダウンロードして登録するコンポーネントであり、それらを簡単に公開できるようにします。全体的に、TEL Lithius i+は、半導体デバイスの製造において正確で高品質な結果を保証するために、幅広い機能を備えた優れたフォトレジストマシンです。プロセスとの容易な統合により、手動による介入の必要性が低減され、信頼性の高いコンポーネントによってウェーハの歩留まりが向上します。このツールは、これまで考えられなかった製品開発の精度を提供します。