中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293830618 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、マスクや基板洗浄、フォトレジストコーティングに優れたソリューションを提供しながら、生産性を向上させる機能を備えたフォトレジスト加工装置です。システムは3つの主要な部品から成っています：抵抗の前処理の解決の部屋、抵抗のスプレーヤーおよび軽い露出場所。溶液チャンバーは、レジスト材料を噴霧する前に基板を準備するように設計されています。抵抗の前処理のステップに加えて、解決の部屋はまた既存の抵抗材料の基質の表面をきれいにし、取除くことができます。このチャンバーには、さらにレジストの接着性を改善し、エッチング工程でレジストの剥離とピンホール形成を防ぐために、レジスト脱落用の特別な貯水池が含まれています。レジストスプレーヤーは、基板にフォトレジストの所望の厚さを適用するように設計されています。スプレーヤーは空気を使用して抵抗材料を噴霧し、制御された環境で均一なコーティングを保障するために。ユニットには、スプレーパターンと液滴サイズ、および調整可能なノズルと噴霧器を制御するための特別な調整ノブが装備されています。これにより、ユーザーは特定の基板タイプに必要な正確な仕様にスプレーアプリケーションをカスタマイズすることができます。最後に、光の露出ステーションは、マスクのデザインをレジスト材料に移し、パターン化された基板表面を作成するように設計されています。高解像度のレーザー光源、顕微鏡の倍率ステージ、精度を維持するためのオプションのレーザーアライメントマシンを備えています。さらに、露光プロセスを自動化し、フォトレジストツールのマスク開発を最適化するために、専用のコンピュータビジョンソフトウェアが含まれています。TEL Lithius i+は、高度で包括的なフォトレジストアセットです。その精密でカスタマイズ可能な設計は、ユーザーに精密マスクと基板の準備とコーティングで優れた結果を提供します。さらに、自動化された機能により、不要な手間を省き、ユーザーの生産性を向上させ、コストを削減します。TOKYO ELECTRON Lithius i+は、高精度基板の調製とコーティングに最適です。