中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293829708 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+
ID: 293829708
Coater system.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+は、高度な半導体デバイス製造プロセスをサポートする高性能フォトレジスト装置です。高解像度で広範囲の露光波長を持つ最高品質のフォトレジストを製造することができます。このシステムは、さまざまな複雑なパターン形状やサイズを処理することができ、特定のデバイス製造ニーズに合わせて調整することができます。TELの高度なi-Line ETL均一化技術を採用し、ウェーハ表面全体の優れた均一性と均一性の制御を実現し、生産性を最大化しています。パワフルなウェーハエッジアライメントマシンにより、パターンを正確に配置し、特徴とパターンを正確に配置し、より正確な結果を得ることができます。TEL Lithius i+は、直感的なタッチスクリーンパネル上のユーザーフレンドリーなコントロールツールによって操作され、ユーザーは迅速かつ簡単に機器をセットアップし、生産を開始することができます。また、オートチューニング、統合分光光度計、画像処理ソフトウェア、デュアルポイントオプティカルターゲティングなど、幅広い機能を利用しています。TOKYO ELECTRON Lithius i+の独自のモジュール設計により、必要に応じて処理速度を容易にスケーリングできます。これにより、ユーザーは特定の生産目標を満たすために資産の速度を変更し、変化する市場の需要に迅速かつ効果的に対応することができます。さらに、このモデルのモジュール設計により、ユーザーは個々のニーズに合わせてプロセスをカスタマイズし、必要に応じてプロセスをアップグレードすることができます。また、アクティブプロセスエリアを囲む安全シールド、オペレータの安全スイッチ、安全性を確保するための安全インターロック機構など、多くの安全機能を備えています。これらの機能を組み合わせたLithius i+は、最先端の半導体デバイス製造アプリケーションに最適なツールです。
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