中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293586621 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+
ID: 293586621
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Track system, 12" 2006 vintage.
TEL LTDTEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+フォトレジスト装置はフォトリソグラフィープロセスを念頭に設計されています。これは、ユーザーフレンドリーでフル機能のシステムであり、フォトイメージングとレジスト処理の両方が可能です。このユニットは、スキャン式ステージ、液晶ディスプレイ(LCD)パネルコントローラ、イメージプロセッサ、光学センサー、オートフォーカス/オートアラインマシンで構成されています。自動バランシングツールを備えたスキャンタイプのステージは、加工されたウェーハの動きを提供し、スムーズな画像処理を可能にします。LCDパネルコントローラは、さまざまなレジスト処理パラメータ、優れた画像アライメント、およびユーザーフレンドリーなインターフェイスの迅速な設定を可能にします。イメージプロセッサは、さまざまなプロセス設定、キャプチャされた信号、エンジニアリング対策、デバッグを可能にします。また、さまざまなイメージング形式やパターン定義も可能です。光学センサは、最適な処理のために複数の露出パターンで高精度の光学補償を提供します。TEL Lithius i+アセットのオートフォーカス/オートアライン機能は、高度な画像処理機能を活用して、平坦性、焦点順序、アライメントの精度を確保し、モデルの精度と効率をさらに向上させます。全体的な装置は、迅速なセットアップ処理と最小限のメンテナンスを可能にするように設計されており、半導体および関連産業におけるフォトリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。Lithius i+の信頼性とシンプルさは、あらゆるマイクロエレクトロニクスのフォトリソグラフィーラボに最適です。プロトタイプ開発から、複雑で繊細な電子機器の大量生産まで、数多くのアプリケーションで実績があります。システムは高度にカスタマイズ可能で、非常に詳細な処理情報を提供することができます。これにより、あらゆるフォトリソグラフィのニーズに最適なソリューションとなります。
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