中古 TEL / TOKYO ELECTRON LITHIUS ARF #9303277 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS ARFは、半導体・薄膜製造装置のリーディングプロバイダーであるTELが開発・製造したフォトレジスト機器です。このシステムは、チップ製造のためのリソグラフィープロセスを最適化し、合理化するように設計されています。TEL LITHIUS ARFユニットは、ARFマシンと成膜ツールの2つの主要コンポーネントで構成されています。ARFアセットには、自動レジストローダー（ARL）、自動レジストデベロッパー（ARD）、ウェーハ検査ロボット（WIR）が含まれます。ARLはウェーハをARDにロードし、ユーザー定義のパラメータに基づいて必要なフォトレジストを堆積させます。その後、WIRは各ウェーハの検査を行い、レジストが一貫して堆積しており、ウェーハ表面の品質が満足できることを確認します。成膜モデルは、膜厚を精密に制御するためのマイクロメーター主軸、反応環境を制御するための反応チャンバー、光強度を精密に調整するための前露および後露光モジュール、および最大25ウェーハの半連続処理のための排気装置で構成されています。蒸着システムは、高度な蒸着制御アルゴリズムを使用して、各ウェーハの均一なレジスト厚さを確保します。ARFユニットと蒸着機の組み合わせにより、フォトレジストの一貫した高品質な露出を可能にし、反応温度を厳密に制御し、露出度を精密に制御します。反応チャンバーはまた、汚染物質を最小限に抑え、収率を最大化するように設計されています。このツールは「ジャストインタイム」ローディングアセットを使用しており、ウェーハが長時間大気にさらされないようにすることで不要なダウンタイムを削減します。また、ステッパー、スキャナ、アニーラーなどの他のシステムと容易に統合できるため、大量生産環境での使用に適しています。LITHIUS ARFは、最も先進的なフォトレジストシステムの1つであり、効率的で費用対効果の高いパッケージで優れた精度、信頼性、パフォーマンスを提供します。