中古 TEL / TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8 #9409937 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8は、従来のエッチングや加工技術による損傷を受けずに、基板上に複雑なパターンを作成できるように設計されたフォトレジスト加工装置です。このシステムは、フォトレジスト材料の薄い層を光源に露出させ、電子を使用してフォトレジスト材料の輸送を制御することで、ユーザーがパターンを正確に形作り、形成することができます。ユニットはいくつかの異なるコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントには、露光パターンを作成するために設計されたレーザービームを生成する一連の高出力光学と、ユーザーがピクセルあたりの光強度と露光速度を正確に制御できるXYスキャンヘッドが含まれます。さらに、フォトレジスト材料の位置と角度を検出するセンサーのツールも内蔵しており、高精度で再現性の高いパターンを作成することができます。このインターフェイスには、露光時間や層の厚さなどのパラメータを設定して、フォトレジストが最高の解像度で露出されるようにするソフトウェアも含まれています。また、露光時間や露光角度などのパラメータを素早く調整して、ミスアライメントを修正することもできます。さらに、ソフトウェアはまた、ユーザーが非常に正確に、複数の層からなる3Dパターンを作成することができます。このモデルの主な利点は、精度、再現性、使用速度です。精密な解像度と均一性で高品質なパターンを作成することができます。また、高速露出と露出時間の設定と層の厚さの範囲を提供し、ユーザーは効率的かつ高い精度で複雑なパターンを作成することができます。最後に、TEL Interface for Clean Track Mark 8は、包括的な安全機能を提供します。これらには、予期せぬ変更が発生した場合にシステムをシャットダウンする自動緊急停止および連動装置、および露光プロセス中のオペレータの干渉を防ぐように設計されたEMF監視ユニットが含まれます。TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8は、高度で信頼性の高いフォトレジスト加工機で、従来の手法と比較して、再現性と精度に優れた複雑で正確なパターンをわずかな時間で生成できるように設計されています。