中古 TEL / TOKYO ELECTRON Hot plates for ACT 12 #293650996 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12用ホットプレートは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計されたフォトレジスト装置です。基板の成長、露出、開発のための精密で制御された熱環境を提供するように設計されています。このシステムは、10〜300ºCの範囲で非常に反復可能で正確な温度を生成することができます。ホットプレートは、熱伝導性、平坦な非磁性ベースプレート、追加のヒータープレート、温度制御ユニット（TCU）、およびヒータープレートとベースプレートの間に圧力密接な接続を作成する絶縁機械圧縮ユニットで構成されています。熱板は均等に分散された温度プロファイルを持ち、低熱質量セラミック、樹脂およびその他の材料の高度な組み合わせで構築され、最適な温度制御と均一性を実現します。TCUは、ホットプレートの温度を正確に制御するために使用され、目標温度に迅速かつ正確に到達し、維持することができます。ヒータープレートは、マイクロパッチのサーマルプレートと基板を内蔵したプラットフォームを備えたペルティエ式加熱装置で構成されています。ACT 12用ホットプレートは、デジタルアクティビティコントローラを使用して動作します。アクティビティコントローラは、温度設定ポイント、冷却タイミング、オン/オフサイクル、冷却期間、ヒーター予熱プロファイルなど、機械の動作を制御するためのさまざまなオプションを備えています。さらに、デジタルアクティビティコントローラには、ツールが正確かつ効率的に動作していることを確認するための高度な監視機能も含まれています。TOKYO ELECTRON ACT 12アセット用ホットプレートは、周囲環境への熱拡散を最小限に抑えながら、精密で一貫した熱特性を提供するよう設計されています。さらに、ウェーハ間の歩留まりの向上、上面平面性の向上、オペレータの安全性と環境の安定性の向上を実現します。この装置は、リソグラフィ、堆積、埋め込み、エッチング、注入プロセスなどのプロセスにも使用できます。