中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS800S #9383288 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS800S Photoresist Equipmentは、半導体産業で高精度ナノ加工を可能にする最先端のフォトリソグラフィーソリューションです。このシステムは高度な統合光学系を備えており、他のどのフォトリソグラフィーユニットよりも大きな解像度を得ることができます。解決された特徴は5-10ミクロンの決断の典型的な機械が付いている100nmと小さい場合もあります。このツールは、回転ドラム上に配置されたフィルムにイメージされ、1つの基板上に複数の画像を作成するために正確に配置された「ステップアンドリピート」アプローチを介して動作します。アセットの光源はUVレーザーで、高解像度パターンを高効率で作成するために、さまざまな統合レンズによって促進されます。TEL CS800Sは解像度の向上に加え、高スループットを実現しています。これは、独自のスリットスキャンアプローチと高度な前駆体処理技術（PAAA）によって可能になり、プロセス時間を短縮できます。このプロセスをさらに改善するために、広範囲の角度、深さ、X-Y座標を持つ光学計測モデルによって正確なアライメントが可能になり、パターンの変動を最小限に抑えます。さらに、プロセス時間を短縮するために大きな開口部を備えた全面的なウェーハ露出ステーションを備えています。このステーションは、最終製品が必要な品質基準を満たしているか超えているかを確認するために後処理にも使用されます。TOKYO ELECTRON CS-800Sは、優れた解像度、高スループット、および生産時間の向上を実現するために利用できる、最先端のフォトリソグラフィーソリューションです。また、高度なインテグレーションレンズ、PAAA技術、精密アライメントメトロジーにより高度にカスタマイズ可能で、ユニットのポテンシャルをさらに最大限に引き出すことができます。これらの機能を組み合わせることで、真に画期的なフォトリソグラフィーソリューションを生み出します。