中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS800S #293661853 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS800Sは、ウェハレベル機器の開発・製造を目的としたフォトレジスト機器です。マスクの書き込みやエッチングなどのフォトリソグラフィ処理用に設計されています。TEL CS800Sには高解像度のLaserWriterフォトマスクライタが搭載されており、0。25umピッチで10,000の電圧ステップを書き込むことができます。また、超高解像度マスクのハイエンド電子ビームマスクライターとしても使用でき、最大50nmのサイズのパターンを書き込むことができます。また、大面積のポストイメージング検査装置を搭載しており、パターンイメージの迅速かつ正確な検査・分析が可能です。TOKYO ELECTRON CS-800Sは、自動調整可能なステージを備え、リソグラフィ精度の向上、オートフォーカス、プログラマブルステージスプラインなどの幅広い機能を提供します。また、マスクCS800S光学性能を測定する「ソフトサーキットモニター（SCM）」を提供しています。SCMはまた、全空中画像の強度とエッジの鋭さを測定することにより、フォトマスクの欠陥を検出することができます。印字可能CS-800S最大パターンサイズは8 「x 10」で、線幅は0。05umまで、接触穴は0。12umまでです。このツールはまた、偏光損失を4X低減し、回路の歩留まりを向上させます。TOKYO ELECTRON CS800Sは、上記の機能に加え、自動レジストアプリケーション、高速露出、高度なレジストプリヒート機能など、さまざまな高度な機能を提供しています。さらに、自動校正アセットを搭載し、ステージ変位やステージスプラインなどのパラメータを正確に制御します。TEL/TOKYO ELECTRON CS-800Sは、高解像度フォトリソグラフィープロセス用に設計された高性能フォトレジストモデルです。自動校正装置、高解像度レーザーライター、ポストイメージング検査システムを備え、ウェハレベルのデバイスの開発と製造に適しています。