中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399459 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS800は、半導体チップパターニング用に設計されたフォトレジスト機器です。ウエハレベルでのフォトレジストの高解像度パターニングが可能です。本体はメインフレーム、バッチ処理ユニット、スピンプロセッサ、CDSモニタで構成されています。メインフレームはマシンを制御するために使用され、操作を容易にするグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。また、さまざまな通信ポートを備えており、半導体製造プロセスで使用される他のシステムとの統合が可能です。メインフレームは、プログラム可能なコントロールで構成することができ、繰り返しタスクを処理するために自動化することができます。バッチ処理ユニットは、1サイクルで複数のウェーハを高速に処理するために使用されます。これにより、スループットが向上し、ウェーハ処理にかかる全体的な時間が短縮されます。プロセスユニットは、スピナーで使用するように設計されており、一度に最大5つのカセットのウェーハを保持することができます。スピンプロセッサは、パターン処理中にウェーハを回転させるために使用されます。それは正確な処理を保障するために高速、敏感な操作のために設計されています。スピナーには、自動スピンドル速度調整、スロット付きガイドリング、ブレーキなど、さまざまな動作制御メカニズムが装備されています。CDSモニターは、パターン作成プロセスの進行状況をリアルタイムで監視するために使用されます。このモニターには、データ取得、信号およびドリフト検出、画像比較などのさまざまな機能があります。CDSモニタは、最終的なウェハ品質に影響を与える前に、潜在的な欠陥や問題を検出するために使用できます。TEL CS 800フォトレジストツールは、ウェーハレベルで高解像度のパターニングを提供するように設計されています。メインフレーム、バッチ処理ユニット、スピンプロセッサ、CDSモニタなどの機能により、簡単かつ正確な操作が可能になり、半導体チップメーカーにとって必須の資産となります。