中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399458 を販売中

ID: 9399458
ヴィンテージ: 2002
Coater / Developer system 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS800は、半導体チップなどの集積回路を製造する一連のプロセスを利用した、完全自動フォトレジスト装置です。このシステムは、2段階の化学プロセスで構成されており、第1段階はフォトレジスト露光、第2段階はフォトレジスト層の開発です。露出プロセスは、シリコンウェーハなどのターゲット材料へのマスクのアライメントと露出を利用した接触露出によって行われます。このプロセスにより、フォトレジスト層の断面が光子を受け取ることができ、基材の変化を引き起こします。次に、ターゲット材料を開発段階に移し、互換性のある化学物質を使用してターゲット材料にさらされた光子と反応させます。これにより、フォトレジスト層の所望の領域を化学物質が除去するため、パターンを作成できます。これを利用して、ユーザーが設定した仕様に従ってパターンを設計することができます。TEL CS 800は、窒素、空気、酸素を利用して機械内の環境を制御します。この特別に設計された環境により、繊細な材料を処理する際の精度が向上します。異なったプロセスの間に、単位はまた装置のフィルムの形成を防ぐ最適温度で作動します。また、東京エレクトロンCS-800は、特殊なランプを使用して、露光プロセスに必要な光子を提供します。ランプは非常に専門にされ、デザイナーによって作成される条件に従って調節可能です。TEL CS800は、高精度で信頼性の高いプロセスを提供する、最新のフォトレジストマシンです。このツールは、露出と開発の両方の段階を利用して、フォトレジストアプリケーションの高品質を確保します。さらに、窒素、空気、酸素環境により、プロセスの精度をはるかに高めることができます。特殊ランプはまた、露光プロセスがはるかに高いレベルで反射と高精度であることを保証します。これらすべてを組み合わせることで、非常に効率的で信頼性の高い資産が可能になり、可能な限り最高の結果を生み出すのに役立ちます。
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