中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9285706 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON CS800
ID: 9285706
Coater / Devloper systems Substrate size: 680 mm x 880 mm.
TEL/TOKYO ELECTRON CS800は、様々な電子機器の製造工程で使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度の薄膜コーティング用途向けに設計されており、高度な加工段階を備えています。ユニークなマテリアルハンドリングユニットを搭載し、大型基板上に広がる厚いフォトレジストと薄いフォトレジストの両方を取り扱うことができます。TEL CS 800は、材料の積み降ろし時に正確な基板アライメントを保証する革新的な自己アライニング材料処理ツールを備えています。厚さ10ミクロン以上の基板に対応可能です。また、正確なフォトレジスト層の分布のために、ナノメートルレベルまで正確な材料位置決めが可能です。TOKYO ELECTRON CS-800は、マイクロスプリンクラー技術を統合した高度なスプレーモジュールを搭載しています。このモジュールは、1ミクロン未満の公差で高精度のフォトレジスト層を堆積することができます。TEL/TOKYO ELECTRON CS-800は、独自のRF源を使用してスプレープロセスを駆動します。このRFソースは、制御されたフォトレジスト層の堆積のために最大4。4kWの調整可能な出力を生成します。また、低熱伝導性カーボンナノドットなどの先端材料を精密に供給できる先進ノズル射出装置を搭載しています。システムは容易な取付けおよび操作のために設計され、既存のコーティング設備と統合することができます。CS-800は、薄膜コーティングプロセスをより簡単かつ正確にする高性能で効率的で汎用性の高いユニットです。精密な材料処理、成膜、プロセス制御のための幅広い高度なセンサと制御システムを備えています。さらに、このマシンは堅牢で信頼性が高く安全な設計で、さまざまなアプリケーションに適しています。CS800は、高精度のアプリケーションを必要とする高度な電子デバイスの製造のための理想的なツールです。
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