中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9412547 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高精度・高効率フォトリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体、オプトエレクトロニクス、ディスクドライブ製造業界で使用するための高度な生産原理を採用しています。TEL CS500には325 mmフィールドスピン支援ステッピングモーションコントロールが装備されており、248〜419 nmの波長範囲で正確かつ迅速に進歩することができます。このユニットには特殊なNIR駆動シャッターも搭載されており、高解像度の歩留まりとプロセスステップの削減を可能にします。TOKYO ELECTRON CS 500は、VIS/NIR目標とUV目標を備えたツインレンズ設計を採用しています。UVの目的は、カーボン繊維補正とガラス繊維補正の両方です。機械のレンズは、高性能イメージングを保証するために、0。90 （NA）の全数開口を備えています。ビジュアルランプを搭載した東京エレクトロンCS500は、マスクパターンを最小限のサイズでも自動認識できるため、手動調整の必要性が大幅に低減します。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、Dual-Track Flatness Measurement ToolとSide-by-side scatterometryにより、プロセス中の結果を正確に監視することができます。CS500はまた、新しい硬化偏光器を備えており、極端な動作条件下でのイメージングまたは照明方向の正確な調整を可能にします。これにより、偏光素子の性能損失を低減し、フレアの均一性と抑制を向上させます。TEL CS 500は、クローズドループステージを備えた精密なモーションコントロールを内蔵しており、高解像度の位置センサーを備えており、ターゲットスキャンのための完全かつ正確なフィードバックを提供します。これにより位置精度が向上するだけでなく、より高いスループットとより良いプロセス性能が保証されます。ユーザーフレンドリーなHuman Machine Interface （HMI）を搭載しているため、プロセスの操作とカスタマイズが容易です。HMIにはデータロギングモデルも装備されており、安全で追跡可能なデータトラッキングとプロセス結果の取得が可能です。CS 500は、正確で反復可能なフォトレジストの結果を提供し、イメージングの歩留まり損失の低減、プロセスの安定性の向上、高いスループット、およびより効果的な顧客サービスの満足度をもたらします。高度なイメージング技術とプロセス技術を組み合わせたこの装置は、精密半導体製造に最適です。