中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9411463 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体デバイス製造工程において、光源を用いてフォトレジスト素材レジストを選択的に除去するフォトレジスト装置です。波長365nmの高分解能紫外線源を使用しています。光源に高精度制御システムとコーティング機構を組み合わせることで、フォトレジストを均一な厚みで塗布することができます。光源はフォトレジストのフィルムを照らし、紫外線にさらされます。紫外線は、光源からフォトレジストフィルムに画像を転送します。フォトレジストのフィルムが露出されると、露出された領域は選択的に除去され、露出されていない領域はそのままです。TEL CS500は、フォトレジストフィルム上のパターンの正確なアライメントを可能にするパターンアライメント機能も備えています。東京エレクトロンCS 500は、正確な位置決めユニットにより、光源をフォトレジストフィルムの適切な領域に正確に導くことができます。このアライメント機能により、サブミクロン精度で正確なパターン配置が可能です。CS500はまた、フォトレジスト材料と基板の間に均一なクロスリンクを提供するために硬化機を組み込んでいます。このクロスリンクにより、フォトレジストはデバイスの製造プロセス全体を通してそのままになり、フォトレジストフィルムから基板に確実かつ再現的にパターンタスクを転送できるようになります。TEL CS 500は、高精度な光源と高度なアライメント機能を組み合わせることで、歪みや汚染を最小限に抑えたフォトレジスト素材を正確かつ確実に除去することができます。これにより、TELは優れた性能を持つ高精度デバイスを製造することができます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、様々な半導体デバイス製造プロセスに最適なアライメント機能、硬化ツール、アセット全体の設計が可能です。