中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301977 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、リソグラフィ加工用のフォトレジスト機器です。MEMS、高度な集積回路、3Dパッケージング、有機発光ダイオード（OLED）などの高精度アプリケーション向けに設計されています。コンベアとマルチゾーンフルデジタルイルミネーションを組み合わせ、迅速かつ正確な操作を実現します。TEL CS500は、電動ステージと最新の検出器を備えており、サブミクロラジアン精度で温度変動を測定できます。デジタルX -Y線形ステージは、ステージの安定性、再現性、およびサブミクロメータの精度までの均一な精度を提供します。TOKYO ELECTRON CS 500は、高品質のモーター式光学機械、高品質のマルチゾーンイルミネーションツール、および精密なフォトレジスト処理に優れた環境を提供するための信号サンプリングおよび制御システムを備えています。モーターを備えた光学系は、アセットを設定する際の光学フォーカスとアライメントの微調整を可能にします。マルチゾーンイルミネーションは、照明領域のサイズと位置を正確に操作することができ、それによって基板上のフォトレジストの正確なカバレッジが保証されます。さらに、信号サンプリングおよび制御システムは、露光線量と露光時間の両方を正確に制御します。したがって、東京エレクトロンCS500は、非常に複雑で正確なフォトレジスト操作に使用できます。さらに、このモデルは高度に自動化されており、オペレータの介入を最小限に抑える必要があります。自動化されたコンベア装置は、オペレータが基板に供給する必要を排除します。基板サイズと基板配置を自動的に測定するようにシステムを構成できます。また、自動化されたプロセスモニタと最適化マシンを提供し、効率的なフォトレジスト処理のためにプロセスパラメータを迅速に調整し、改善することができます。CS500は高精度の適用のフォトレジストの処理のための優秀な選択です。プロトタイピングと生産の両方に適した自動プロセス環境を提供し、お客様は高品質な結果を迅速に得ることができます。TEL CS 500は、アプリケーションのニーズに合わせて設定をカスタマイズできる柔軟性と、再現性と信頼性を兼ね備えており、半導体、MEMS、 OLEDなど、高精度なリソグラフィ処理を必要とする業界にとって理想的なソリューションです。