中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301072 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、電子デバイスの高度なマイクロストラクチャリングを目的としたフォトレジスト機器です。電子構造の微細な特徴を正確かつ正確に印刷することを目的に設計された完全自動システムです。TEL CS500では、3mm程度の小型基板へのマルチレベル印刷が可能で、ほとんどの基板の向きに対応できます。このユニットは、高解像度充電結合デバイス（CCD）カメラやレーザーダイオードなどのイメージングおよび光学部品を統合しており、アライメントと焦点の制御を可能にし、サブミクロン機能の印刷を優れた精度で最適化します。カメラはまた、単一のフィルムまたは基板表面のチップ間の分散を大幅に低減するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON CS 500は、高精度な位置決めと回転を実現するステージを搭載し、画像位置決め用の基板の正確なアライメントを実現しています。さらに、X方向とY方向の整列を可能にするために、高解像度の自動インデクサを使用することもできます。効果的な印刷プロセスを実現するために、TEL CS 500は高精度で直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと統合されており、編集、チャンネル選択、解像度の設定が可能です。さらに、パターン作成のための高度なパラメータカスタマイズが付属しており、複雑なパターンの正確な成形を容易にします。また、3D機能の形成を可能にする「パススルー」機能、インテリジェントなレチクル制御機構が含まれているため、最も正確な画像だけが基板またはフィルムに送信されます。CS 500は、プライマリ画像とセカンダリ画像の両方を残留オーバーラップの非常に低いレベルでキャプチャする高度なスキャンアルゴリズムを採用しています。これにより、印刷された機能がエッジの粗さと優れた登録精度を最小限に抑えることができます。このツールはさらに高度な温度制御技術を採用し、優れた均一性のために一貫した印刷温度を確保します。さらに、CS500は、1つのプラットフォームにレジストコーティングのためのディスペンスとスプレーの両方の技術を統合することにより、最適な生産性を促進します。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500はエネルギー効率に優れ、停電などの際の緊急停止資産も含まれています。また、コンパクトな物理設計により、スペース要件を最小限に抑え、環境を柔軟に選択できます。