中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9293647 を販売中
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ID: 9293647
ヴィンテージ: 1997
Coater / (2) Developer system
For LCD flat panel display manufacture
Track runs Gen 2 (370 mm x 470 mm) panels
Handle (4) cassettes
(3) Robots and transfer stations
SCR / (4) Cools / (7) L Ovens / HMDS
Glass substrate:
Min: 300 mm x 400 mm
Max: 400 mm x 500 mm
Module includes:
(7) Hot plates
(4) Chill plates
HMDS Vapor prime
Megasonic scrubber
Edge bead remover
Specification:
Main controller: NEC 98" Series
Loader / Unloader: (4) Uni-cassettes
(4) Spin coater heads (Coater / (2) Developer / SCR)
Coater unit specification:
Function for one coater head:
Coater cup: Standard cup
Photo resist line: (2) Nozzles
Back side rinse
RRC Fuction
P/R Drain:
Local drain 10L tank
Drain tank with pump
P/R Supply allocation: Bottle / Nozzle
Standard function:
Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
Solvent supply:
(5) Gal canisters
(2) Tanks auto change (Local supply)
DEV Unit specification:
Function for developer unit:
DEV Cup: TEL Standard cup
DEV Line: Nozzle for etch unit
Back side rinse
Top rinse function
EV Drain: Facility drain
DEV Supply allocation: Supply from facility with 200 liter tank
CS500 Standard function cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
SCR Unit specification:
Function for SCR unit:
SCR Cup: Standard cup
Dl Line: Nozzle for etch unit with mega-sonic
Back side rinse
Top rinse function
D.I Drain: Facility drain
CS500 Standard function: Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500装置は、半導体、集積回路、その他のマイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される先進的なフォトレジストシステムです。既存の製造ツールとシームレスに接続できるように設計されており、最も費用対効果の高いフォトレジストシステムの1つです。TEL/TOKYO ELECTORN TEL CS500の中核には、高効率・中型チャンバーユニットがあります。ハイエンドの中型チャンバーマシンを使用することで、一貫したレベルの性能で動作し、すべてのプロセスパラメータを正確に制御することができます。これにより、プロセス全体を通じて信頼性が高く再現性のある結果が得られます。TOKYO ELECTRON CS 500は、光学リソグラフィ、電気化学複写、ウェットエッチング加工など、ステップとリピートプロセスにおいて最高の精度を確保するために様々な技術を使用しています。高い収率で信頼性の高いマイクロサーキットを作るには、この精度が不可欠です。また、このツールは、高精度、影のない露出を行うことができます。完成品がソースパターンの完全に正確なレプリカであることを確認するために、影のない露出が最も重要です。CS 500は、光の飽和をさらに制御するための特殊光学部品の使用と、複雑なプロセスや薄膜処理用に設計されたプログラムを実装しています。プロセス全体は、ハードウェアの近くにある主要な処理コンソールから制御され、オペレータに必要なすべてのプロセス制御が含まれています。この資産は、ダウンタイムを最小限に抑え、生産レベルを向上させるために迅速かつ簡単に設定できるため、ユーザーフレンドリーです。CS500は非常に信頼性が高く効率的なフォトレジストモデルで、最高品質のマイクロサーキットの製造に最適です。幅広いプロセス能力を備えているため、あらゆる高精度製造プロジェクトに最適です。
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