中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269767 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500はフォトリソグラフィに特化したウエハレジスト加工ツールです。このツールは、湿式または乾式の開発プロセスを使用して、レジスト動作とエッチングソリューションに対する耐性に優れた制御を実現します。TEL CS500は、専用の制御装置を使用して、湿式または乾式の開発ソリューションの体積と温度を含む物理パラメータを管理します。これにより、レジスト開発プロセスが最適なパラメータ内で実行され、固定された再現可能な結果が得られます。このシステムは、現在の設定を正確かつ明瞭に表示する高解像度LCDスクリーンをユーザーに提供します。また、ダークフィールドプレートとライトフィールドプレートの両方を自動的に管理し、ウェーハの光感受性領域が適切な露出を確実に受けることができます。TOKYO ELECTRON CS 500はスプリットフィールドに対応しており、開発中にアライメント登録が可能です。これは、重要なレジストパターニングが最高水準に維持されるようにするのに役立ちます。このマシンはまた、高速で直感的で正確なプログラムエディタを備えており、レジスト開発の構成を可能にします。これにより、ユーザーは特定の目標と要件を達成するのに役立つカスタマイズされたプログラムを作成できます。東京電子CS500は、溶液バスレベルを+/-0。1mmの精度で制御することができます。このレベルの精度は、レジスト層全体の均一な薄さを確保するのに役立ち、レジスト開発のより正確な制御を可能にします。TEL CS 500は、開発工程を通じて正確な測定と優れた測定精度を提供する低拡張ハウジングを備えています。このツールは、レジスト厚さ測定プロセス専用のモニタリングプログラムも提供します。これは、エッチング処理の前にレイヤーレジストの厚さの精度を確保するのに役立ちます。CS500には、開発過程で発生する凝縮水滴のサイズを制御するために使用される蒸気発生器も装備されています。これにより、ウェーハ乾燥の欠陥を最小限に抑え、均一なフォトレジスト層を確保します。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、高感度な基板上に優れたパターンを作成するのに役立つ信頼性の高い強力なフォトレジスト資産です。高度な制御システムは、正確さと再現性を確保しながら、ユーザーに使いやすい機能を提供し、強力な開発プログラムを作成します。