中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269765 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高解像度フォトリソグラフィとドライエッチングの両方を可能にする最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、統合されたマイクロエレクトロニクスデバイスの作成に使用されるサブミクロメータジオメトリの正確なパターンを提供するように設計されています。ユニットには、平面化とパターン化の両方のための取り外し可能な静電チャック付きのチャンバーがあります。機械内部にはレジスト材と特殊基板で構成されたブロックがあります。静電気チャックはブロックを浮上させ、速度と位置の両方でウェーハを正確に制御します。リソグラフィープロセスを行うために、TEL CS500はKrFやArFエキシマレーザーなどの高度な高解像度光源を利用しています。これは、マスキングまたは内蔵のフォトマスクを介してレジストに投影画像を作成するために使用されます。この過程で、紫外線はレジストと相互作用し、マスク構造に応じて反応する画像を作成します。リソグラフィー工程の後、このツールはドライエッチング用途に動的な裏面バイアス発生器を使用します。この機能は、電源を使用して、ウェーハ上のさまざまなポイントに適用される負の帯電した方形波バイアスを生成します。このバイアスにより、アセットはレジスト材料にパターンをエッチングすることができます。また、東京エレクトロンCS 500には温度制御環境があり、異なる温度でプロセスを実行することが可能です。これにより、デバイスの解像度を最適化し、目的のパターニング結果を達成することができます。TEL CS 500は、高解像度のリソグラフィとエッチング機能に加え、インライン検査ツールを備えており、デバイス構造のオンザフライ監視が可能です。これにより、より正確なデバイスを生成するために、プロセスを即座に調整することができます。最後に、このモデルにはユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されており、すべてのプロセスを正確に監視および制御できます。これにより、プロセス全体がよりスムーズで効率的になります。したがって、CS500は、高度なフォトリソグラフィとドライエッチングプロセスのニーズに対応する強力なツールです。