中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269757 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、最先端技術を駆使しながら歩留まりを最大限に引き出すフォトレジストアッシング装置です。このシステムは、半導体デバイス製造の重要なステップであるフォトレジスト加工に使用されるように設計されています。TEL CS500は、リモートプラズマソースを使用して、高い精度と精度でフォトレジストをエッチングします。これにより、オペレータは高度な制御でエッチング時間、電力、ガスの流れを定義することができます。フォトレジストアッシングユニットは、低熱予算と高い選択率でクイッククリーンを提供します。このマシンは、高スルーポットで複数のフォトレジストを一度にエッチングする手段を提供します。これにより、信頼性の高いプロセスで優れた均一性が得られ、歩留まりが向上し、品質が向上します。TOKYO ELECTRON CS 500は、ソースからビームの均一性を制御するために使用されるプラズマLens™技術のような高度な機能を利用して、最適な方向性能を抽出する機能を提供するツールです。高精度のパルスガスコントロール、洗練されたインターフェース（PCまたはPLC制御）、多次元イメージャなどの高度な機能は、処理負荷を増加させ、ツールの機能を最大限に活用する進歩です。TOKYO ELECTRON CS500は、繰り返し可能な結果を提供し、顧客の要求を満たす可能性を高めるために設計された資産です。このモデルはまた、エッチング処理を監視、監視、検証する手段を提供します。これはまた、品質を向上させ、エッチング後のテストに関連するコストを削減するのに役立ちます。TEL CS 500の使いやすいインターフェースにより、オペレータはアッシングプロセスを効率的に合理化することができます。さらに、ガスモニター、オープンチャンバー検出、過圧保護などの安全機能の組み込みは、安全で信頼性の高い作業環境を提供します。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、高度な制御、高速クリーン、高い選択率で、正確で再現性のある結果を提供するアッシング装置です。優れた機能とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、CS 500を使用してフォトレジスト処理の歩留まりと品質を向上させることができます。