中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269756 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9269756
System HITACHI LE-4000A Mask cleaner Tank Heating system.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高度なフォトレジスト加工装置です。フォトリソグラフィ用途の半導体産業で広く使用されており、様々な複雑な構造や重要な部品の製造が可能です。このシステムの主な目的は、光源からの光を利用して、基材やフォトレジストにパターンを転送することです。基板をあらかじめ決められた強度の光にさらすことで機能し、レジスト内の化学反応を誘発してパターニングプロセスを開始します。TEL CS500には高精度で調整可能なレーザービームアライメントユニットが装備されています。また、パターンとそのエッジの正確な寸法を測定する機械も組み込まれており、可能な限り最も正確なパターン定義を可能にします。また、TOKYO ELECTRON CS 500は、専用のユーザーインターフェイスで完全自動パターニング機能を提供します。これは、詳細で複雑なパターンやフォトレジストを作成しようとしている人のための便利なソリューションを提供します。このツールは、幅広いレジスト材料に対応し、マイクロリソグラフィー、薄膜成膜、ウェハボンディングなどの分野でのアプリケーションを可能にします。さらに、このアセットにはキャリブレーション機能が内蔵されており、レジスト層の厚さとパターンサイズを正確に測定できます。高出力、エネルギー効率に優れたモーターによって駆動され、高速、正確、再現性の高いパターニングを保証します。さらに、事前構成されたハードウェアモデルは、いつでも中断しない動作を保証します。TOKYO ELECTRON CS500は、信頼性が高く革新的で先進的なフォトレジスト加工装置です。その自動パターニング機能は、調整可能なレーザービームのアライメントと組み込みのキャリブレーション機能と組み合わされ、様々な基材に複雑なパターンやフォトレジストを作成する便利で正確で効率的な方法を提供します。
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